1. Thermografie
  2. Mit Thermografie dem Fehler auf der Spur
Zerstö­rungs­freie Scha­dens­ana­lyse an elek­tro­ni­schen Bauteilen

Mit Ther­mo­grafie dem Fehler auf der Spur

Die thermografische Schadens- und Funktionsanalyse an elektronischen Bauteilen gehört mittlerweile zu den etablierten Prüfmethoden in der Elektrotechnik. Auch am Institut für Elektrische Systeme und Energielogistik der BTU Cottbus-Senftenberg nutzt man dieses Verfahren zu Forschungszwecken. Prof. Dr. Ralph Schacht beschäftigt sich in diesem Zusammenhang intensiv mit der Material- und Systemcharakterisierung sowie der zerstörungsfreien Fehleranalytik von Leiterplatten, elektronischen Bauteilen, Mikroelektronik als auch von Verbundsystemen der Aufbau- und Verbindungstechnik.

Schadensanalyse an elektronischen Bauteilen | ©BTU Cottbus-Senftenberg

Zerstörungsfreie Prüfung (ZfP) – im Gegensatz zur zerstörenden Bauteilprüfung – heißt, dass durch die Prüfanwendung die Gebrauchseignung des Prüfgegenstandes in keiner Weise beeinflusst oder gemindert werden darf. Eine zerstörungsfreie, sehr effiziente Methode ist die Thermografie. Sie ermöglicht die bildgebende Detektion von Wärmestrahlung sowie die Interpretation der betrachteten Oberflächentemperaturen.

Am Institut für Elektrische Systeme und Energielogistik der BTU Cottbus-Senftenberg werden zerstörungsfreie Bauteilprüfungen über verschiedene Thermografiemethoden realisiert: passive IR-Thermografie, aktive IR-Impulsthermografie und aktive IR-Lock-In-Thermografie. Zum Einsatz kommt dafür die Wärmebildkamera ImageIR® 8300 von InfraTec mit einer dreifach vergrößernden Mikroskopoptik oder einem Makrovorsatz. Die Auswertungen der Messungen erfolgen mit der zur Kamera gehörigen Thermografiesoftware IRBIS® 3 und dem Zusatzmodul IRBIS® 3 active.

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InfraTec Lösung

Brandenburgische Technische Universität Cottbus-Senftenberg (BTU); Institut für Elektrische Systeme & Energielogistik

www.b-tu.de/fg-schaltungstechnik/

Prof. Dr.-Ing. Ralph Schacht

Thermografiesystem:
ImageIR® 8300

Passive IR-Ther­mo­grafie

Bei dieser Methode werden an die zu prüfenden Baugruppen gezielt elektrische „Kurzschlussströme“ eingespeist. Dadurch kann es in fehlerhaften Bereichen zu erhöhten Stromflüssen kommen, die dort z. T. geringste Temperaturveränderungen auslösen und mittels Thermografie detektiert werden können. Als Beispiel dienen hier Kurzschlusstests von elektrischen Durchkontaktierungen in Leiterplatten. Die Möglichkeit einer Differenzbild-Auswertung innerhalb der Thermografiesoftware IRBIS® 3 lässt augenblicklich eine präzise Lokalisierung der Kontaktstelle in Echtzeit zu (Abb. 1).

Schadensanalyse an elektronischen Bauteilen | ©BTU Cottbus-Senftenberg
Abb. 1: Differenzbildmethode zum automatisierten Finden von durch Fehler verursachten Veränderungen des Temperaturfelds (grüner Kreis).

Auch die Auslastungsbeobachtung von z. B. Leistungs-MOSFETs im 3-Phasen-Wechselrichterbetrieb lässt sich mit dieser Methode sehr gut darstellen und verfolgen (Abb. 2). Mithilfe der hochauflösenden Dreifach-Mikroskopoptik an der verwendeten Thermografiekamera ImageIR® 8300 gelingt die Charakterisierung von integrierten, passiven Bauelementen auf Wafer Level. Untersucht wurde hier konkret das thermische Verhalten von Nickel-Chrom-Widerständen in Abhängigkeit ihrer Verlustleistung (Abb. 3).

Schadensanalyse an elektronischen Bauteilen
Abb. 2: Untersuchung des dynamischen Temperaturverhaltens von MOSFET-Modulen im 3-Phasen-Wechselbetrieb
 Schadensanalyse an elektronischen Bauteilen | ©BTU Cottbus-Senftenberg
Abb. 3: Charakterisierung von integrierten passiven NiCr-Widerständen auf einem Flip-Chip Substrat: links: Messaufbau, rechts: IR-Aufnahme

Aktive IR-Impulsther­mo­grafie

Diese Form der zerstörungsfreien Prüfung ist eine häufig verwendete Methode, um verborgene Schäden in Bauteilen zu detektieren. Dabei wird impulsartig Wärme in eine Probe eingebracht und parallel das Temperaturfeld der stimulierten Oberfläche beobachtet. Dies ermöglicht die Auswertung sowohl von Aufheiz- als auch Abkühlkurven. Der Vorteil der Impulsthermografie ist ihre hohe Geschwindigkeit und daraus resultierend das hohe Potential für eine 100-prozentige Inspektion während eines Produktionsprozesses.

Dabei macht man sich den Umstand zunutze, dass nach dem Anregungsimpuls lokal unterschiedliche Abkühlvorgänge auftreten. Bestimmt werden deren Zeitpunkt des maximalen Temperaturunterschiedes und der Unterschied als solcher. Diese Methode erlaubt auch Rückschlüsse auf Strukturen, die nicht unmittelbar an der Bauteiloberfläche verortet sind (Abb. 4).

Praktische Beispiele für diese Messmethode sind im Zusammenhang mit der Montage von Leistungshalbleitern zu sehen. So lassen sich z. B. Delaminationen in einer Lotschicht nach zyklischer Belastung oder die Ausbreitung von Rissfronten in Sinterschichten nachweisen.

Schadensanalyse an elektronischen Bauteilen
Abb. 4 - Links: Grundsätzliche Temperaturverläufe auf der Oberfläche über einer Materialinhomogenität T2 und über einem ungestörten Bereich T1. Zu einem bestimmten Zeitpunkt Tmax ist ein maximaler Temperaturunterschied dTmax sowie im Kontrastverlauf ein Maximum zu beobachten. Rechts: unter T2 befindet sich in einer Tiefe z ein Defekt im Materialgefüge.

Aktive IR-Lock-In-Ther­mo­grafie

Das Lock-In-Prinzip oder auch die Lock-In-Verstärkung kommt zum Einsatz, wenn in einem statistisch verrauschten Gesamtsignal ein Nutzsignal zu finden ist. Dieses muss gezielt periodisch amplitudenmoduliert werden. Dies geschieht im einfachsten Fall durch das Ein- und Ausschalten oder die sinusförmige Modulation der Versorgungsspannung eines elektronischen Bauteils.

Zudem ermöglicht es diese Methode, sehr kleine und schwache Wärmesignale herauszuarbeiten. Nimmt man beispielsweise eine Teststruktur mit einer 50 µm kleinen Diode und regt diese mit 10 mW bei 0,1 Hz an (Duty Cycle 50 %), ist das gesuchte Messsignal im reinen Wärmebild unter der Nachweisgrenze. Über ein generiertes Amplitudenbild ist die Verlustleistungsquelle jedoch sehr eindeutig lokalisierbar – unter Anwendung der Thermografiesoftware IRBIS® 3 active sogar in Echtzeit.

Die Lock-In-Thermografie ist auch hervorragend geeignet, um durch Auftreten des thermoelastischen Effektes im Phasenbild Rissspitzen zu lokalisieren oder Risslängen zu messen (Abb. 5).

Schadensanalyse an elektronischen Bauteilen
Abb. 5 - Oben: PT-Untersuchungen an einem gesinterten MOSFET-Transistor zu drei Zeitpunkten während eines Temperaturwechseltests (nach 0, 150, 300 Temperaturwechsel). Unten: als Referenz SAM-Aufnahmen nach 0 und 300 Temperaturwechsel.

ImageIR® 8300 – Hohe ther­mi­sche Auflö­sung für Präzi­si­ons­mes­sungen

Schon seit mehreren Jahren setzt die BTU Cottbus-Senftenberg die bei den hier vorgestellten Messungen verwendete ImageIR® 8300 ein. Ausgestattet ist diese Kamera mit einem 25 mm Standard-Objektiv sowie einfach- und dreifach- vergrößernde Mikroskop-Objektiven. Intern wurden zudem zwei Filter-Blenden-Räder verbaut, ein einzigartiges Ausstattungsmerkmal der Kameraserie, mit dem parallel sowohl signaldämpfende Filter als auch Spektralfilter ferngesteuert eingeschwenkt werden können. Neben der hohen Ortsauflösung dieses Systems sind außerdem bei jedem Objektiv ausgezeichnete Messgenauigkeiten erreichbar, so dass exakte und wiederholgenaue Ergebnisse erzielt werden.

Die dazugehörige Software IRBIS® 3 active erlaubt u. a. komfortable Datenauswertemöglichkeiten von Bildsequenzen, die Berechnung von Phasen- und Amplitudenbildern sowie die Analyse mit verschiedenen Verfahren der Aktiv-Thermografie. Dazu zählen beispielsweise die Quotientenmethode, die Pulsphasen- und Lock-In-Thermografie.

Sowohl im wissenschaftlichen Ausbildungsbetrieb als auch bei Forschungsarbeiten des Institutes ist die ImageIR® 8300 inklusive ihrer Softwaretools zu einem unverzichtbaren Hilfsmittel geworden.

Vorteile der Ther­mo­grafie-Lösung in dieser Anwen­dung

InfraTec Glossar - Rotierendes Filter- und Blendenrad

Sepa­rates Filter- & Blen­denrad – Spek­trale Ther­mo­grafie

Die Kombination aus je einem separaten Filter- und Blendenrad mit bis zu sieben freien Positionen (35 Kombinationen) ist Voraussetzung für den universellen Einsatz bei Messaufgaben mit hohen Objekttemperaturen und im Bereich der spektralen Thermografie. Durch die zur Signalabschwächung genutzten Neutraldichtefilter oder die Kombination von Spektralfiltern und Blenden werden Störeffekte sicher vermieden.

InfraTec Glossar Motorfokus

Motor­fokus für ImageIR®-Voll­op­tiken – Mehr Komfort

Alle wechselbaren Standard-Volloptiken der ImageIR®-Serie können mit einer Motorfokuseinheit kombiniert werden, die über die Kamera-Bediensoftware angesteuert wird. Sie ermöglicht die präzise, fernsteuerbare und schnelle Fokussierung. Außerdem steht eine Autofokusfunktion zur Verfügung, die selbst bei geringen Bildkontrasten noch zuverlässig arbeitet.

HighSense für Thermografiekameraserie ImageIR®

High­Sense – Immer die opti­male Kame­ra­ein­stel­lung

Dank HighSense haben ImageIR®-Anwender die Möglichkeit, auf Basis der Werkskalibrierung individuelle Messbereiche einzustellen, die optimal zur jeweiligen Aufgabenstellung passen. Je nach Messaufgabe kann der gewünschte Temperaturbereich gewählt werden und die dafür optimale Integrationszeit wird automatisch ausgegeben – oder man entscheidet sich für ein Vorgehen in umgekehrter Reihenfolge. Die Kalibrierung kann somit auch bei geänderten Integrationszeiten beibehalten werden.

InfraTec Glossar - Rotierendes Filter- und Blendenrad

Sepa­rates Filter- & Blen­denrad – Spek­trale Ther­mo­grafie

Die Kombination aus je einem separaten Filter- und Blendenrad mit bis zu sieben freien Positionen (35 Kombinationen) ist Voraussetzung für den universellen Einsatz bei Messaufgaben mit hohen Objekttemperaturen und im Bereich der spektralen Thermografie. Durch die zur Signalabschwächung genutzten Neutraldichtefilter oder die Kombination von Spektralfiltern und Blenden werden Störeffekte sicher vermieden.

InfraTec Glossar Motorfokus

Motor­fokus für ImageIR®-Voll­op­tiken – Mehr Komfort

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Dank HighSense haben ImageIR®-Anwender die Möglichkeit, auf Basis der Werkskalibrierung individuelle Messbereiche einzustellen, die optimal zur jeweiligen Aufgabenstellung passen. Je nach Messaufgabe kann der gewünschte Temperaturbereich gewählt werden und die dafür optimale Integrationszeit wird automatisch ausgegeben – oder man entscheidet sich für ein Vorgehen in umgekehrter Reihenfolge. Die Kalibrierung kann somit auch bei geänderten Integrationszeiten beibehalten werden.

Rele­vante Bran­chen und Anwen­dungs­ge­biete

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Messen Sie die Temperaturverteilung kleinster elektronischer Komponenten mit einer Wärmebildkamera.

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Erkennen Sie mögliche Probleme schon in der Entwicklung und vor der Serienproduktion mit einer Wärmebildkamera von InfraTec.

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Mikro­ther­mo­grafie

Die Mikrothermografie ermöglicht die thermische Analyse kleinster Strukturen im µm-Bereich und somit eine detaillierte Darstellung der Temperaturverteilung auf komplexen elektronischen Baugruppen.

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